PROJECT SHOW

企业文化

资讯分类
/
/
洁净等级及等级标准该如何划分

洁净等级及等级标准该如何划分

  • 分类:行业资讯
  • 作者:武汉创饶科技工程有限公司
  • 来源:无尘无菌洁净室专家
  • 发布时间:2023-06-27 11:15
  • 访问量:

洁净等级及等级标准该如何划分

  • 分类:行业资讯
  • 作者:武汉创饶科技工程有限公司
  • 来源:无尘无菌洁净室专家
  • 发布时间:2023-06-27 11:15
  • 访问量:
详情

洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准。

空气洁净度等级(air cleanliness class):洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。国内按空态、静态、动态对无尘车间进行测试、验收,符合《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》、《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》。

无尘车间的发展与现代工业、尖端技术紧密的联系在一起。目前在生物制药、医疗卫生、食品日化、电子光学、能源、精密器械等行业运用已经相当的普遍且成熟。

ISO14644-1国际标准—空气洁净度等级划分

空气洁净度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(空气粒子数个/立方米)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
       
ISO Class2
100
24
10
4
   
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
 
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
 
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO Class7
     
352,000
83,200
2,930
ISO Class8
     
3,520,000
832,000
29,300
ISO Class9
     
35,200,000
8,320,000
293,000

注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

 

GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级

空气洁净度等级(N)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m³)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
       
2
100
24
10
4
   
3
1000
237
102
35
8
 
4(十级)
10000
2370
1020
352
83
 
5(百级)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千级)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(万级)
     
352000
83200
2930
8(十万级)
     
3520000
832000
29300
9(一百万级)
     
35200000
8320000
293000

 

中国GMP(2010年修订)新版GMP附录1 无菌药品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下
洁净度级别
悬浮粒子数最大允许数/m3
 
近似对应传统洁净度
静态
动态
0.5um
0.5um
0.5um
0.5um
A级
3520
20
3520
20
100级
B级
3520
29
352000
2900
100级
C级
352000
2900
3520000
29000
10,000级
D级
3520000
29000
不作规定
不作规定
100,000级
 
各国洁净度等级近似对照表 
个 / M ≥0.5um
ISO14644-1(1999)
US209E(1992)
US209D(1988)
EECcGMP(1989)
FRANCE
AFNOR(1981)
GERMANY
VDI 2083
JAPAN
JAOA(1989)
1
-
-
-
-
-
-
-
3.5
2
-
-
-
-
0
2
10.0
-
M1
-
-
-
-
-
35.3
3
M1.5
1
-
-
1
3
100
-
M2
-
-
-
-
-
353
4
M2.5
10
-
-
2
4
1,000
-
M3
-
-
-
-
-
3,530
5
M3.5
100
A+B
4,000
3
5
10,000
-
M4
-
-
-
-
-
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
-
4
6
100,000
-
M5
-
-
-
-
-
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
-
M6
-
-
-
-
-
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
-
M7
-
-
-
-
-
 
无尘车间(洁净室)等级说明
首先是等级定义的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。

半导体行业洁净室案例图集

1、 黄光车间多建在百级洁净区,千级洁净区也有涉及

 

 

2、半导体洁净室(高架地板)常应用于百级和千级区域

3、 常规半导体洁净室(洁净区:万级至十万级)

扫二维码用手机看

SITE NAVIGATION

栏目导航

OFFICIAL MOBILE WEBSITE

手机官方网站

进入手机官网